Browsing by Author "Юхневич, А. В."

Now showing items 1-2 of 2

    • К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов 

      Юхневич, А. В.; Майер, И. А.; Усенко, А. Е. (БНТУ, 2013)
      Юхневич, А. В. К моделированию технологии изготовления кремниевых МЭМС/НЭМС-приборов / А. В. Юхневич, И. А. Майер, А. Е. Усенко // Теоретическая и прикладная механика. Выпуск 28 : международный научно-технический сборник / под ред. А. В. Чигарева ; БНТУ. – Минск, 2013. – С. 123-126.
      2013-02-12

    • К технологии формирования МЭМС/НЭМС-конструкций 

      Юхневич, А. В.; Майер, И. А.; Усенко, А. Е. (БНТУ, 2016)
      Рассматривается возможность предельного уменьшения размеров МЭМС, НЭМС и других миниатюрных приборов в технологии их изготовления методами маскированного растворения кристалла. Для этого необходимо использование растворителей, позволяющих осуществить «идеальную» полировку поверхностей. Создание таких пока неизвестных растворителей предлагается начинать с определения элементарных ...
      2016-02-08